EFEM晶圓傳送設備

旭禾精密EFEM晶圓傳送設備支援對OHT或AGV通訊、簡易人機介面，可供使用者輕鬆操作。
Load Port部分包含機構如：步進馬達door升降、氣缸Latch key、wafer mapping開閉、真空吸附FOUP door保持機構、定位機構，透過設計整合出更強大的效率。
在感測元件上，Mapping Sensor可與FOUP Door連動加速Mapping時間，以及晶片飛出檢測感測器，防止晶片意外破損，有效減少額外成本。

平均故障間隔≧2,000小時、平均修復時間≦2小時、平均失效時間≧250小時
平均毀損間隔次數≧100,000晶片、無人狀態下正常運行時間≧99.5％