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型號:SH-EFEM-S1

—EFEM晶圓傳送設備—

旭禾精密EFEM晶圓傳送設備支援對OHT或AGV通訊、簡易人機介面,可供使用者輕鬆操作。 Load Port部分包含機構如:步進馬達door升降、氣缸Latch key、wafer mapping開閉、真空吸附FOUP door保持機構、定位機構,透過設計整合出更強大的效率。 在感測元件上,Mapping Sensor可與FOUP Door連動加速Mapping時間,以及晶片飛出檢測感測器,防止晶片意外破損,有效減少額外成本。
平均故障間隔≧2,000小時、平均修復時間≦2小時、平均失效時間≧250小時
平均毀損間隔次數≧100,000晶片、無人狀態下正常運行時間≧99.5%
 

型號:SH-TR01

—Tape Reel內盒全自動包裝機—

ROBOT  ABB六軸及四軸機械手臂
功能性  REEL&TRAY產品全自動帳料比對,進行貼標籤、真空鋁箔袋及入箱作業。 (設備可對接人員來料或AGV自動上料作業)